第69章 山巍[01] 13.5nm工艺制程。（第3/3页）

众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。

盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我们的科研项目，激光等离子体极紫外光刻光源是——”

“13.5nm！”

原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自己的耳朵坏了，他们出现了幻听。

盛明安语气里流泻出轻松的笑意：“恭喜大家。”

见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”

林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说13.5nm……不是16nm？”

同盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现不一的样子。

雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”

杜颂捂着心脏，喃喃说道：“不是吧……我整天研究的就是这么牛逼的玩意？”

助理姑娘掐得更狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身体的疼痛。

“啊，”盛明安下意识看向陈惊璆：“你们都有异议吗？”

陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过头了。”

盛明安又看向林成建等人，谁知他们面面相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”

猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，热爱实验室设备的盛明安就该拉下脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人出去了。

但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽情放纵无以言表的兴奋和激动。